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Recursos educativos


Fuga fina

El término fuga fina se utiliza en las pruebas de detección de fugas en paquetes herméticos microelectrónicos.

Los paquetes sellados herméticamente se presurizan con helio o se sellan con gas helio de rastreo dentro del paquete. El paquete sellado es introducido en una cámara al vacío conectada a un espectrómetro de masas y la tasa de la fuga de helio se mide en atm-cc/seg.

La tasa de pérdida permitida según estándares militares para un paquete sellado herméticamente es menor o igual a 5 x 10-8 atm-cc/seg.